服務項目
無塵室空調 TAB 與 ISO 14644-1 潔淨度驗證
依 ISO 14644-1:2015 計算採樣點數、單點最小採樣量與等級上限，並提供測試調整平衡流程與現場記錄表格。
潔淨室驗收不是單一的粒子計數。風量、濾網完整性、壓差與溫濕度任何一項未調整到位，潔淨度測試的結果都不具代表性。本頁整理前方顧問執行無塵室空調測試調整平衡（TAB）的程序、ISO 14644-1:2015 分級計算方法與現場記錄表。
測試調整平衡流程
測試順序有其因果關係：風量決定換氣次數與壓差，壓差決定污染物是否由低等級區倒灌，最後才以粒子計數驗證結果。
執行計畫書與開工會議
承包商於契約簽訂後 30 日內提送 TAB 人員資格，執行前 30 日提送執行計畫書（人員組織、儀器、流程、時程、量測點位與報告格式）。團隊主持人應具冷凍空調技師執照，現場人員具乙級以上冷凍空調技術士資格。
測試前檢查
竣工圖與點數確認；空調系統連續運轉 24 小時以上；水管耐壓試驗合格、風管洩漏檢查完成；儀器於 12 個月內完成校正。使用下方「表 0」逐項確認。
空氣系統平衡
依風機性能曲線核對運轉點，量測主風管、支管與末端風量；FFU／HEPA 每台量測 4 點取平均風速。風門與平衡閥定位後須加註記號。
已安裝濾網洩漏掃描
以粒子計數器或光度計於濾網面下方約 25 mm、以約 50 mm/s 速度掃描濾材、框架與密封處；洩漏處修補後複測。
室壓差調整
風量完成後才進行壓差量測與調整。常見契約要求：不同潔淨等級間 ≥ 5 Pa，對非潔淨區 ≥ 10 Pa。
溫濕度、噪音、照度、振動與地板導電度
溫濕度量測高度 FL+1.5 m、連續記錄 1 分鐘取平均；照明開啟 72 小時後量測照度；地板導電度依 IEC 61340 量測。
ISO 14644-1 潔淨度分級
依面積計算最少採樣點數，依等級與粒徑計算單點最小採樣量，逐點判定。使用下方計算工具。
報告與最終抽查
TAB 報告於驗收前提送，抽測點不少於總量測數之 5%；不合格率超過抽測數 25% 時退回重新施作。核定後的報告併入操作維護手冊。
三種占用狀態
| 狀態 | 定義 | 一般驗證項目 |
|---|---|---|
| 竣工 as-built | 系統完成並運轉，無生產設備、無人員 | 風速風量、濾網洩漏、壓差、溫濕度、噪音、照度、潔淨度 |
| 靜態 at-rest | 生產設備已進駐並可運轉，無人員 | 潔淨度、溫濕度（常於設備進駐後約半年內或依業主協議） |
| 動態 operational | 依約定方式運轉，人員在場 | 潔淨度與環境參數，多屬監測紀錄 |
ISO 14644-1:2015 等級上限
各等級於各粒徑之最大允許濃度（particles/m³，累積值：表示「大於等於」該粒徑之粒子數）。「—」表示該粒徑不適用分級。
| ISO 等級 | 0.1 µm | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 1 µm | 5 µm |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ISO 1 | 10 | — | — | — | — | — |
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | — | — | — |
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | — | — |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | — |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | — |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| ISO 7 | — | — | — | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
| ISO 8 | — | — | — | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
| ISO 9 | — | — | — | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
採樣點數與採樣量計算
ISO 14644-1:2015 潔淨度分級採樣計算
輸入潔淨室條件後，依 Table A.1、Formula (A.1)、(A.2) 與 Table 1 計算採樣點數、單點最小採樣量與等級上限；再輸入現場計數即可逐點判定。
現場計數與判定
在下表輸入每個採樣點、每個粒徑的計數值（顆數／單次採樣量）。系統以實際單次採樣量 Vt 換算成每立方公尺濃度（Formula A.4）後與等級上限比對。
1999 年版與 2015 年版的差異
仍有契約或舊規範引用 1999 年版。兩版計算出的採樣點數差異很大，投標與編列測試費用前應先確認契約引用的版本。
| 項目 | ISO 14644-1:1999 | ISO 14644-1:2015 |
|---|---|---|
| 最少採樣點數 | NL = √A（無條件進位） | 查 Table A.1；A > 1000 m² 時 NL = 27 × A / 1000 |
| 統計判定 | 採樣點 2～9 點時須計算 95% 信賴上限（UCL） | 取消 95% UCL，改以 Table A.1 確保 95% 信心水準下 90% 區域不超限 |
| 點位配置 | 平均分布 | 將區域等分為 NL 區，每區選取具代表性位置 |
| ISO 5 級 5 µm | 29 particles/m³ | 不適用分級，改用 M 描述（macroparticle descriptor） |
| 定期再測 | 列於 ISO 14644-2:2000 固定週期 | 依風險評估訂定監測計畫（ISO 14644-2:2015） |
以 120 m² 的 ISO 7 級潔淨室為例：1999 年版 √120 = 10.95，取 11 點；2015 年版查表取 19 點。
驗收參考值
下表為某光電廠新建工程潔淨室與空調系統契約規範之允收值，各案應以契約為準。
| 項目 | 允收標準 | 依據 |
|---|---|---|
| FFU 出風面風速 | 0.45 m/s，相鄰兩點差距 ≤ 20% | 契約規範／NEBB |
| 溫度／相對濕度 | 21.5 ± 1.5 °C／45 ± 5 %RH | 業主需求 |
| 室壓差 | 不同等級間 5 Pa，對外最小 10 Pa | 業主需求 |
| 噪音 | as-built ≤ 65 dB(A)；at-rest ≤ 70 dB(A) | 契約規範 |
| 地板導電度 | 2.5 × 104 ～ 1.0 × 106 Ω（每 500 m² 一點） | IEC 61340 |
| 風機風量 | 設計值 0 ～ +10%，或以性能曲線確認運轉點 | ASHRAE 111／契約規範 |
| 出風口、回風口、排風口 | 設計值 ± 15% | 同上 |
| 冰水、冷卻水、熱水流量 | 設計值 ± 10% | 同上 |
現場記錄表
無塵室 TAB 現場記錄表
選擇表單、設定列數與允收值後列印（A4）。允收值預設為某光電廠案契約規範之數值，請依貴案規範修改。
定期再驗證
ISO 14644-1:2015 第 5.1 節指出，靜態或動態分級應依應用之風險評估定期執行，一般為每年一次；設有連續或高頻率粒子監測且結果維持在規定範圍內者，可延長分級間隔。監測計畫（監測點位、頻率、警戒值與行動值）依 ISO 14644-2:2015 建立。
參考文件：ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration；ISO 14644-2:2015 Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration；ISO 14644-3 Part 3: Test methods；ASHRAE Standard 111；NEBB Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms；中華民國冷凍空調技師公會「空調系統測試調整平衡 TAB 操作程序指針」。本頁工具依上述公式建置，供規劃與報價估算使用。